发明名称 放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法、滤色器以及滤色器的形成方法
摘要 本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、固化膜、固化膜的形成方法、滤色器以及滤色器的形成方法。本发明的目的在于提供一种兼具保存稳定性和低温焙烧性能、且具有充分的敏感性的放射线敏感性树脂组合物;以及耐溶剂性、相对介电常数和硬度均优异的作为层间绝缘膜、保护膜或垫片的固化膜;该固化膜的形成方法;耐热性、耐溶剂性、电压保持率等优异的滤色器;以及该滤色器的形成方法。在本发明的放射线敏感性树脂组合物中,含有[A]碱可溶性树脂、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物、[C]放射线敏感性聚合引发剂以及[D]封端异氰酸酯化合物。
申请公布号 CN102385251B 申请公布日期 2015.04.01
申请号 CN201110250945.5 申请日期 2011.08.16
申请人 JSR株式会社 发明人 米田英司;西信弘;丸山拓之
分类号 G03F7/027(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 主分类号 G03F7/027(2006.01)I
代理机构 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 代理人 刘激扬
主权项 一种放射线敏感性树脂组合物,其含有:[A]碱可溶性树脂,其通过将(A1)由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种化合物、(A2)含羟基不饱和化合物与(A3)含环氧基不饱和化合物共聚而得到;[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物;[C]放射线敏感性聚合引发剂;和[D]封端异氰酸酯化合物。
地址 日本东京都
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