机电系统之处理及用于机电系统之处理之设备;PROCESSING FOR ELECTROMECHANICAL SYSTEMS AND EQUIPMENT FOR SAME

摘要

本发明提供用于在一处理工具中处理多个基板之系统、方法及装置。一种用于处理基板之装置可包括一处理腔室、一共同反应物源及一共同排气泵。该处理腔室可经组态以处理多个基板。该处理腔室可包括复数个堆叠式个别子腔室。每一子腔室可经组态以处理一个基板。该共同反应物源可经组态以将反应物并行提供至该等子腔室中之每一者。该共同排气泵可连接至该等子腔室中之每一者。