| 主权项 |
一种用于执行薄膜光伏器件的反应热处理的装置，所述装置包括：炉，所述炉具有本体和相关联的加热和冷却装置，所述本体为一管状本体，并从第一端至第二端包围一内部空间；第一门结构，所述第一门结构被构造成通过面对所述内部空间的第一板覆盖所述第一端，所述第一板被耦接至所述第一门结构中的第一盘管；第二门结构，所述第二门结构被构造成通过面向所述内部空间的第二板覆盖所述第二端，所述第二板被耦接至所述第二门结构中的第二盘管；机架夹具，所述机架夹具设置在所述炉中，所述机架夹具能够在所述内部空间中支撑一批衬底；第一多个隔板件和第二多个隔板件，所述第一多个隔板件设置在所述第一板附近，所述第二多个隔板件设置在所述第二板附近，所述第一多个隔板件和所述第二多个隔板件包括耦接至所述机架夹具的盘形隔板件以控制所述内部空间中的内部对流；以及二个月牙形隔板件，每一所述月牙形隔板件具有的宽度和弧长大于所述管状本体的半个周长，并且所述二个月牙形隔板件分别被设置在所述管状本体的靠近所述第一端和所述第二端的下半部分上以覆盖所述盘形隔板的下部边缘部分。 |
