发明名称 磊晶形成结构及制造固态发光装置之相关方法
摘要
申请公布号 TWI479679 申请公布日期 2015.04.01
申请号 TW099130810 申请日期 2010.09.10
申请人 美光科技公司 发明人 宾宁顿 汤玛斯
分类号 H01L33/00 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种用于制造固态发光(SSL)装置之方法,其包含:将形成结构附接至复合结构,该复合结构在预定温度范围中具有复合热膨胀系数(CTE)温度相依性,该复合结构包括基础材料及在该基础材料内之CTE控制材料,该基础材料包括单晶材料或多晶材料;减小附接至该复合结构之该形成结构之厚度;在具有减小厚度之该形成结构上形成SSL结构,该SSL结构在该温度范围中具有SSL CTE温度相依性,其中该复合CTE温度相依性与该SSL CTE温度相依性之间的差在至少一部分之该温度范围中系低于目标临限值,且其中该复合结构之基础材料含有多晶氮化铝(AlN)及该复合结构之CTE控制材料含有氧化钇(Y2O3)如下:AlN(x):Y2O3(1-x),其中x系在约0.75至约0.95之间。
地址 美国