| 发明名称 |
静电驱动器，用于操作具有一静电驱动器的微机械构件，以及用于制造静电驱动器的方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI479796 |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
| 申请号 |
TW098145428 |
申请日期 |
2009.12.29 |
| 申请人 |
罗伯特博斯奇股份有限公司 |
发明人 |
克鲁格 米夏埃尔;尼蒙其 斐德列克 尼坎;慕裘 约克 |
| 分类号 |
H02N1/00;B81B3/00 |
主分类号 |
H02N1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼 |
| 主权项 |
一种静电驱动器，具有至少一第一中间框(10)、一围框住该第一中间框的第二中间框(10)、及围框住该第二中间框(10)的第三中间框(10)；其中该至少三个中间框(10)的各二个相邻的中间框(10)经由至少一中间弹簧(14)互相连接；其中该至少二个中间弹簧(14)设置的方式使该中间弹簧(14)的纵方向位在一第一旋转轴(16)上；且其中，有中间电极指件(22)设在该至少三个中间框(10)之平行于第一旋转轴(16)朝向的框梁(10a)上；其特征在：有一个外框(12)将该至少三个中间框(10)围框住，该外框(12)经由至少一外弹簧(18)与该至少三个中间框(10)的最外面的那个中间框(10)连接，其中该至少一外弹簧(18)设置成使该至少一外弹簧(18)的纵方向(18)位于一第二旋转轴(20)上，该第二旋转轴的朝向不平行于第一旋转轴(16)，且其中有外电极指件(30)设在该外框(12)以及至少三个中间框(10)的最外的中间框(10)的平行于该第二旋转轴(20)朝向的框梁(10b)(12a)上。 |
| 地址 |
德国 |
