基于聚焦敏感成本协方差域之辅助特征布局

主权项

一种决定后光学近处校正(后OPC)遮罩布置内之辅助特征布局的方法，该方法包含：接收一组目标图案，其代表前OPC遮罩布置中的一组多边形；决定外形移动度量，其代表相关于聚焦的改变的外形之移动；在该组目标图案之边缘上积分该外形移动度量来获得聚焦敏感成本函数；决定其代表该聚焦敏感成本函数之改变的表式，当辅助特征被放置于一组候选位置中之候选位置上时；藉由评估该组候选位置中之各候选位置上的该表式而由电脑决定成本协方差域(CCF域)；以及基于该CCF域产生该后OPC遮罩布置的辅助特征。