微机电反射镜、反射镜扫描仪、光学扫描单元和成像装置

摘要

本发明公开了微机电(MEMS)反射镜和采用该MEMS反射镜的反射镜扫描仪的几个实施方式。本发明还公开了采用该反射镜扫描仪的光学扫描单元和包括该光学扫描单元的成像装置。MEMS反射镜可包括活动单元，其可包括镜部分和磁铁架部分。镜部分可在其面上具有镜表面。磁铁架部分可包括在其中容纳磁铁的开口。MEMS反射镜还可包括第一固定端和第二固定端，通过允许活动单元的振荡或转动运动的一个或多个弹性构件将活动单元弹性支撑到第一固定端和第二固定端。

主权项

一种微机电反射镜，包括：活动单元，包括镜部分和磁铁架部分，所述镜部分具有至少两个面，每一个面都包括在其上的一个或多个镜表面，所述磁铁架部分构造成在其中支撑磁铁；彼此隔开并与所述活动单元隔开的第一固定端和第二固定端；以及第一弹性构件和第二弹性构件，所述第一弹性构件弹性支撑所述活动单元到所述第一固定端，所述第二弹性构件弹性支撑所述活动单元到所述第二固定端，其中，所述活动单元构造成关于旋转轴转动，所述磁铁架部分包括开口从而在该开口中容纳所述磁铁，所述磁铁架部分包括延伸到所述开口中用于在适当的位置支撑所述磁铁的夹紧结构，使得所述磁铁可被插入所述磁铁架部分而处于一插入深度，并可从所述磁铁架部分取出，在所述插入深度处，所述活动单元的所述旋转轴与所述第一弹性构件和所述第二弹性构件的旋转中心轴一致。