| 发明名称 | 光酸发生剂和包含该光酸发生剂的光致抗蚀剂 | ||
| 摘要 | 光酸发生剂和包含该光酸发生剂的光致抗蚀剂。本发明提供光酸发生剂化合物(“PAGs”)新的合成方法，新的光酸发生剂化合物以及包含这种PAG化合物的光致抗蚀剂组合物。一个特别的方面，提供含锍(S+)光酸发生剂以及锍类光酸发生剂的合成方法。提供了一种含锍化合物的制备方法，所述制备方法包括环合烷基硫代化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN102225924B | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
| 申请号 | CN201010625286.4 | 申请日期 | 2010.12.10 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | 李明琦;E·阿恰达;刘骢;J·玛蒂亚;C-B·徐;G·G·巴克利 |
| 分类号 | C07D333/46(2006.01)I;C07D493/18(2006.01)I;C07C309/12(2006.01)I;C07C303/32(2006.01)I;C07C381/12(2006.01)I;C07J31/00(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/26(2006.01)I | 主分类号 | C07D333/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 一种含锍化合物的制备方法，所述制备方法包括环合烷基硫代化合物，其中含锍化合物与氟代磺酸连接，其中制备得到的含锍化合物选自下列通式(Ⅰ)和(Ⅱ)：<img file="FDA0000557435510000011.GIF" wi="1120" he="948" />其中，每个通式Ⅰ和Ⅱ中，R是氢或非氢取代基，所述非氢取代基选自直链，支链或环状的C<sub>1‑20</sub>的烷基。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||