滤光器及具备该滤光器的光学模块

摘要

本发明提供一种滤光器及具备该滤光器的光学模块，即使在使反光镜间的间隙可变的情况下，也能够取出分光特性优异的光，而且能够不使取出的光的分光特性降低地良好地进行维持。本发明的滤光器(1)特征在于具有第一基板(2)、形成于所述第一基板(2)的第一反光镜(4A)、与所述第一基板(2)接合或粘结且形成有凹部(5)的第二基板(3)、形成于所述第二基板(3)的所述凹部(5)且形成在与所述第一反光镜(4A)对置的位置的第二反光镜(4B)、形成于所述第一基板(2)且形成在所述第一反光镜(4A)的周围的第一电极(6A)和形成于所述第二基板(3)且形成在与所述第一电极(6A)对置的位置的第二电极(6B)，所述第一基板(2)具有位于所述第一反光镜(4A)上的第一部分、位于所述第一部分的周围的第二部分(9)、位于所述第二部分的周围的第三部分和位于所述第三部分的周围的第四部分(8)，所述第二部分(9)的厚度和所述第四部分(8)的厚度比所述第一部分的厚度小。

主权项

一种滤光器，其特征在于，具有：第一基板；第一反光镜，其形成于所述第一基板；第二基板，其与所述第一基板接合，形成有凹部；第二反光镜，其形成于所述第二基板的所述凹部，并且形成在与所述第一反光镜对置的位置；第一电极，其形成于所述第一基板的从厚度方向观察所述第一基板以及所述第二基板的俯视观察下的所述第一反光镜的周围；和第二电极，其形成于所述第二基板的与所述第一电极对置的位置；所述第一基板在所述俯视观察下，具有：形成有所述第一反光镜并具有第一厚度的第一部分；配置于所述第一部分的外侧，且具有厚度小于所述第一部分的第二厚度的第二部分；和配置于所述第二部分的外侧，且具有小于所述第一厚度的第四厚度的第四部分；所述第二部分的第二厚度小于所述第四部分的第四厚度，所述第二部分在所述俯视观察下配置在所述第二电极与所述第二反光镜之间。