一种制备含氢氧化锌铝透明导电薄膜的方法

摘要

一种制备含氢氧化锌铝透明导电薄膜制备的方法。首先将溅射真空腔体背底真空抽至8.0×10^-4pa，样品台温度为室温，随后打开针阀，向真空腔体中通入水蒸气，通过针阀调整水蒸气为3×10^-3pa～1.0×10^-2pa，再向真空腔体中通入氩气，通过质量流量计调整腔体真空至0.5Pa～2Pa，溅射功率为80W～120W，沉积时间为40min～60min。

主权项

一种制备含氢氧化锌基透明导电薄膜的方法，其特征在于，所述的制备方法采用陶瓷靶射频磁控溅射，步骤如下：(1)将溅射真空腔体的背底真空抽至8.0×10^‑4pa；(2)将水罐放入装有冰水混合物的泡沫箱中，并热平衡20min；(3)打开连接贮水罐的管道上的针阀，向真空腔体中通入水蒸气，调整针阀，调整通入真空腔体的水蒸气流量，控制水蒸气压力为3×10^‑3pa～1.0×10^‑2pa；再向真空腔体中通入氩气，通过质量流量计调整溅射真空腔体的真空度至0.5Pa～2Pa；开始溅射，将溅射功率调节至80W～120W；待辉光稳定后，移开挡板，开始沉积氧化锌铝薄膜，沉积时间为40min～60min，沉积完毕取出氧化锌铝薄膜样品。