| 发明名称 | 管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构，所述硅片卸料机构包含有卸料支柱（1），所述卸料支柱（1）上通过直线导轨竖向滑动连接有卸料底板（2），所述卸料底板（2）上通过卸料托架（3）安装有翻转电机（4），所述翻转电机（4）的转轴与卸料花篮（5）相连，所述卸料底板（2）旁设置有卸料平台（6），该卸料平台（6）上通过直线导轨滑动连接有卸料板（7），该卸料板（7）的一侧斜向设置有用于安放花篮的卸料仓（9），另一侧上装有卸料传输带（8），且卸料传输带（8）位于卸料花篮（5）的下方。本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构，定位精确且生产效率高。 | ||
| 申请公布号 | CN204243014U | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
| 申请号 | CN201420645151.8 | 申请日期 | 2014.11.03 |
| 申请人 | 江阴方艾机器人有限公司 | 发明人 | 李长英;陈光;高玉良 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人 | 唐纫兰;陈强 |
| 主权项 | 一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构，其特征在于：所述硅片卸料机构包含有卸料支柱（1），所述卸料支柱（1）上通过直线导轨竖向滑动连接有卸料底板（2），所述卸料底板（2）上通过卸料托架（3）安装有翻转电机（4），所述翻转电机（4）的转轴与卸料花篮（5）相连，所述卸料底板（2）旁设置有卸料平台（6），该卸料平台（6）上通过直线导轨滑动连接有卸料板（7），该卸料板（7）的一侧斜向设置有用于安放花篮的卸料仓（9），另一侧上装有卸料传输带（8），且卸料传输带（8）位于卸料花篮（5）的下方。 | ||
| 地址 | 214442 江苏省无锡市江阴市临港经济开发区镇澄路588号 | ||