可产生负压吸附料片及晶粒的固晶装置

摘要

本实用新型为一种可产生负压吸附料片及晶粒的固晶装置，系将一自吸嘴脱附的晶粒固定于一料片上，包括：一承载座，其上方系设有一容置槽，该容置槽系设有多个第一通气孔；一固定板，设置于该容置槽内，且该固定板系设有多个第二通气孔；一真空产生单元，包含一抽气马达、一控制阀及一抽气管，该抽气管的一端系连接该抽气马达，其另一端系连接该第一通气孔；其中，所述料片系设置于该固定板上，且料片设有多个第三通气孔，所述第一通气孔、第二通气孔与第三通气孔之间系互相连通，藉此，具有提高固晶作业效率，降低重工成本的功效。

主权项

一种可产生负压吸附料片及晶粒的固晶装置，系将一自吸嘴脱附的晶粒吸附并固定于一料片上，其特征在于，其包括：一承载座，其上方设有一容置槽，该容置槽系设有多个第一通气孔；一固定板，设置于该容置槽内，且该固定板系设有多个第二通气孔；以及一真空产生单元，包含一抽气马达、一控制阀及一抽气管，该抽气管的一端系连接该抽气马达，且该抽气管的另一端系连接该些第一通气孔，而该控制阀系配设于该抽气管上；其中，所述料片系设置于该固定板上，且该料片设有多个第三通气孔，所述第一通气孔、第二通气孔与第三通气孔之间系互相连通。