一种石墨烯气敏传感元件

摘要

本实用新型提供一种石墨烯气敏传感元件，包括：硅衬底层、氧化硅层、电极层和单层的石墨烯膜，所述氧化硅层位于硅衬底层上；所述电极层位于氧化硅层上；所述石墨烯膜位于氧化硅层上，并覆盖所述电极层。本实用新型在硅衬底层上生成一层氧化硅层，然后将插电电极的电极层布置在氧化硅层上，再将石墨烯膜转移上去，所述石墨烯膜覆盖电极层，由于石墨烯的特殊性，使得制备一片完整尺寸的石墨烯膜具有一定难度，而采用分散插电电极的结构，即使石墨烯膜是分散的，但由于电极层包括了密集分布的插电电极，使得插电电极的两端接触的石墨烯膜仍相当于是同一片石墨烯膜，完全可以达到检测的效果，大大降低了石墨烯气敏传感元件的生产成本和加工难度。

主权项

一种石墨烯气敏传感元件，其特征在于，包括：硅衬底层、氧化硅层、电极层和石墨烯膜，所述氧化硅层位于硅衬底层上；所述电极层位于氧化硅层上；所述石墨烯膜位于氧化硅层上，并覆盖所述电极层。