二维可程式化孔径机构;2D PROGRAMMABLE APERTURE MECHANISM

摘要

本发明呈现用于重新组态一光学检验系统之一孔径之方法及系统。一可程式化孔径系统包含选择性地阻挡光通过该孔径之一个二维机械像素阵列。一线性导引元件阵列彼此平行地对准，且每一机械像素列系由一对应线性导引元件支撑。每一机械像素经组态以在由一致动器子系统推动时沿着该对应线性导引元件滑动。该致动器子系统重新定位该等机械像素元件中之一或多者以改变该孔径之形状。该致动器子系统经组态以选择性地啮合一或多个机械像素元件且使该一或多个机械像素元件沿着对应线性导引元件平移至一新位置。