提供减少电浆穿透与电弧之静电吸盘的方法与设备

主权项

一种用于刷新一静电吸盘的至少一部分之方法，该静电吸盘具有一平板与一第一介电部件，其中该第一介电部件包括一管件，该管件系插入该平板中，且该平板系适以被置于一通道内以界定一气室，其中该第一介电部件提供一流体通道的至少一部分，该流体通道系耦接至该气室，该方法包括：自该静电吸盘的该平板移除该第一介电部件，其中该第一介电部件系经配置以提供一流体至一基板的一背部表面，当该基板被置于该静电吸盘上时，该基板的该背部表面面对该静电吸盘；及以一第二介电部件取代该第一介电部件。