| 主权项 |
一种经Ni-P镀敷之铝合金基板用研磨液组合物，其含有研磨材、酸、氧化剂、杂环芳香族化合物、胺化合物、及水，上述杂环芳香族化合物于杂环内含有2个以上之氮原子，上述胺化合物于分子内含有2~4个氮原子，该研磨液组合物之pH值为3.0以下，上述研磨材为胶体二氧化矽，其中上述杂环芳香族化合物系选自由嘧啶、吡、塔、1,2,3-三、1,2,4-三、1,2,5-三、1,3,5-三、1,2,4-二唑、1,2,5-二唑、1,3,4-二唑、1,2,5-噻二唑、1,3,4-噻二唑、3-胺基吡唑、4-胺基吡唑、3,5-二甲基吡唑、吡唑、2-胺基咪唑、4-胺基咪唑、5-胺基咪唑、2-甲基咪唑、2-乙基咪唑、咪唑、苯并咪唑、1,2,3-三唑、4-胺基-1,2,3-三唑、5-胺基-1,2,3-三唑、1,2,4-三唑、3-胺基-1,2,4-三唑、5-胺基-1,2,4-三唑、3-巯基-1,2,4-三唑、1H-四唑、5-胺基四唑、1H-苯并三唑、1H-甲苯三唑、2-胺基苯并三唑、3-胺基苯并三唑及该等物质之烷基取代体所组成之群，上述胺化合物系选自由乙二胺、N,N,N',N'-四甲基乙二胺、1,2-二胺基丙烷、1,4-二胺基丁烷、己二胺、3-(二乙基胺基)丙基胺、3-(二丁基胺基)丙基胺、3-(甲基胺基)丙基胺、3-(二甲基胺基)丙基胺、N-胺基乙基乙醇胺、N-胺基乙基异丙醇胺、N-胺基乙基-N-甲基乙醇胺、哌、2-甲基哌、2,5-二甲基哌、1-胺基-4-甲基哌、N-甲基哌、1-(2-胺基乙基)哌、及羟基乙基哌所组成之
群，研磨液组合物中之上述杂环芳香族化合物与上述胺化合物之浓度比[杂环芳香族化合物之浓度(重量%)/胺化合物之浓度(重量%)]为1.5~5。 |
