| 发明名称 |
盐及含有该盐之光阻组成物 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI478910 |
申请公布日期 |
2015.04.01 |
| 申请号 |
TW099122938 |
申请日期 |
2010.07.13 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
市川幸司;杉原昌子;坂本宏 |
| 分类号 |
C07D317/72;C07D339/06;C07C309/17;G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027 |
主分类号 |
C07D317/72 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种盐，其由式(aa)所示之二价基以及有机阳离子所构成，
其中Xa和Xb各自独立表示-O-或-S-，Ra、Rb、Rc及Rd各自独立表示氢原子、C1至C4烷基或C1至C4烷氧基，以及m表示1或2。 |
| 地址 |
日本 |
