| 发明名称 | 用于气相沉积系统中基板检测的主动观察端口检测组件 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于气相沉积系统中基板检测的主动观察端口检测组件，这种用于检测经过真空沉积系统(10)输送的基板(14)的主动观察端口组件(100)包括壳体(102)，壳体(102)被配置成安装到气相沉积模块(16，20，22，28，30)的壁(104，106)上。该壳体还包括封闭腔室(108)、外侧端口(110)和内侧端口(112)。透镜组件(114)安置于所述腔室内且延伸穿过所述内侧端口。加热器元件(116)配置于腔室内的透镜组件上。主动发送器(118)或主动信号接收器(118)之一被配置于所述腔室外部的所述外侧端口，且与所述透镜组件在轴向对准并间隔开。 | ||
| 申请公布号 | CN102154623B | 申请公布日期 | 2015.04.01 |
| 申请号 | CN201010604157.7 | 申请日期 | 2010.12.15 |
| 申请人 | 初星太阳能公司 | 发明人 | R·W·布莱克;M·J·帕沃尔 |
| 分类号 | C23C14/52(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 陈江雄;谭祐祥 |
| 主权项 | 一种用于检测经过真空沉积系统(10)输送的基板(14)的主动观察端口组件(100)，所述观察端口组件包括：壳体(102)，其被配置成安装到气相沉积模块(16，20，22，28，30)的壁(104)上，所述壳体还包括封闭腔室(108)、外侧端口(110)、和内侧端口(112)；透镜组件(114)，其安置于所述腔室内且延伸穿过所述内侧端口；加热器元件(116)，其被配置于所述腔室内的所述透镜组件上；以及主动信号发送器或主动信号接收器(118)之一，其配置于所述腔室外部的所述外侧端口，所述发送器或接收器与所述透镜组件在轴向对准并间隔开。 | ||
| 地址 | 美国科罗拉多州 | ||