涂覆装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于对多个基片进行涂覆的新颖组件。

主权项

一种用于以液体涂覆介质(124)对多个载体(121)进行完全或部分涂覆的设备，其中这些载体(121)各自具有一个圆柱轴线、两个端面、一个圆周表面以及一个轴向长度L，并且被多个通道从第一端面横跨至第二端面，并且该载体(121)涂覆有所希望量的涂覆介质(124)，涂覆方法是，将该载体的圆柱轴线竖直取向并且通过该载体的这些端面中的至少一个端面将该涂覆介质(124)引入到这些通道中，其特征在于该载体(121)安排在一个涂覆装置(122)上，该涂覆装置的导液部分通过一个阀(125)连接到一个升液管(127)，其中该阀(125)确保在该升液管(127)中与在该载体中相比有相同的压力状况以及因此有实质上相同的液体上升情况，因此，该升液管(127)允许该载体(121)中的该涂覆介质(124)的填充液位(FH)得到监控，在所述涂覆装置上安装多个额外的传感器，用于确定所述升液管(127)和/或所述载体(121)中的填充液位，并且借助于中央计算机(150)将这些填充液位相互比较并且与预定的填充液位进行比较，所述中央计算机能够借助于致动器(A1)对所述阀(125)进行调整。