高度测定方法、高度测定装置

摘要

本发明是使用落射照明装置照明被测物或者对被测物投射投影图案，沿着光轴方向扫描且由成像光学系统的摄像装置拍摄被测物或投影图案，将摄像装置中的聚焦测度值达到最大的位置作为被测物的表面位置而获取高度值的高度测定方法、高度测定程序以及高度测定装置。该高度测定方法、程序以及装置是预先求出与被测物表面的倾斜角度对应的高度修正值作为角度修正值，由摄像装置的各像素的求出的高度值求出与各像素位置对应的被测物表面的倾斜角度，由角度修正值求出与所求出的倾斜角度对应的高度修正值，使用所求出的高度修正值修正与各像素对应的被测物的表面的高度值。

主权项

一种高度测定方法，其特征在于：其使用于高度测定装置中，所述高度测定装置是使用落射照明装置照明被测物或者对所述被测物投射投影图案，沿着光轴方向扫描且使用成像光学系统的摄像装置拍摄所述被测物或所述投影图案，将所述摄像装置中的聚焦测度值达到最大的位置作为所述被测物的表面位置而获取高度值；且预先求出对应于所述被测物表面的倾斜角度的高度修正值作为角度修正值，根据所述摄像装置的各像素的所述高度值求出与所述各像素位置对应的所述被测物表面的所述倾斜角度，根据所述角度修正值求出与所求出的所述倾斜角度对应的所述高度修正值，使用所求出的高度修正值修正与所述各像素对应的所述被测物的表面的高度值。