一种像素间串扰检测系统及方法

摘要

本发明公开了一种像素问串扰检测系统与方法。所述像素问串扰检测系统包括：整体暗室(1)；样品台，其设置在所述整体暗室(1)内，用于放置待测图像传感器样品；光源模块(2)，其设置在所述整体暗室内，用于产生激光光束；聚焦装置(5)，其设置在所述整体暗室内，用于将激光束会聚后投射至待测图像传感器，使得照射在待测图像传感器上的光斑大小可达2～10um(常见图像传感器像素尺寸2～10um)。本发明的像素问串扰检测设备与方法通过光学调整方法来使得激光束照射在待测感光阵列上光斑尺寸与单个像素尺寸同等规格，从而不需要制造带有微小尺度孔槽的物理遮光板，降低了制造成本，提高了检测精度。

主权项

一种像素间串扰检测系统，其特征在于，包括：整体暗室(1)；样品台，其设置在所述整体暗室(1)内，用于放置待测图像传感器；微小光斑光学系统，其包括：光源模块(2)，其设置在所述整体暗室内，用于产生不同波长的激光束；聚焦装置(5)，其设置在所述整体暗室内，用于将所述激光束会聚后投射至待测图像传感器，使得照射在待测图像传感器上的光斑尺寸与待测图像传感器中的至少一个像素尺寸具有同等规格。