一种激光设备及激光扫描振镜阵列的校正方法

摘要

本发明涉及激光设备领域，尤其是涉及一种激光设备及激光扫描振镜阵列的校正方法，所述校正方法包括以下步骤：使所述校正装置获取与激光扫描振镜阵列的作业相对应的图像；使所述校正装置对所述图像进行图像处理操作以得到各个扫描振镜的校正值；及使各扫描振镜根据所述校正值来生成实际扫描位置以进行扫描。本发明可以在降低设备的制造精度要求的情况下，确保在大面积作业区域下的作业质量。

主权项

一种激光设备，包括扫描振镜阵列，其特征在于，还包括与所述扫描振镜阵列相配合的校正装置，所述校正装置包括照相单元和图形处理单元，所述照相单元用以获取所述扫描振镜阵列中各扫描振镜校正前的扫描位置的示意性图形，所述图形处理单元用以根据所述示意性图形计算出各扫描振镜的扫描位置相对于标准扫描位置的校正值；所述扫描振镜阵列中各扫描振镜是根据所述校正值来生成实际扫描位置以进行扫描的。