一种多晶硅铸锭炉全功率控制铸锭工艺

摘要

本发明公开了一种多晶硅铸锭炉全功率控制铸锭工艺，涉及光伏制作技术领域。完全采用功率和时间控制完成铸锭过程中的加热、融化、长晶、退火和冷却五个阶段；加热阶段和融化阶段的结束分别由加热器上方的第一热电偶和石英坩埚下方的第二热电偶达到的预定设定温度警示；每个阶段又分为若干步，进行功率和时间控制；最后制得成品。本发明主能够提供稳定的热源，并能有效减小硅锭生长时上下温度梯度的温差，工艺控制更合理，能有效消除硅锭的内部应力，最大程度的减小热场波动，从而更有利于硅锭的长晶，提高硅锭的品质。

主权项

一种多晶硅铸锭炉全功率控制铸锭工艺，其特征在于：完全采用功率和时间控制完成铸锭过程中的加热、融化、长晶、退火和冷却五个阶段；加热阶段和融化阶段的结束分别由加热器上方的第一热电偶和石英坩埚下方的第二热电偶达到的预定设定温度警示；每个阶段又分为若干步，进行功率和时间控制；最后制得成品。