研磨用组成物

摘要

本发明之目的系提供一种可充分控制含Si材料之研磨速率之研磨用组成物。;本发明之研磨用组成物含有于表面固定化有满足下述条件(1)及(2)之至少一者之官能基而构成之二氧化矽、与pH调整剂；条件(1)：前述官能基具有胺基；条件(2)：前述官能基具有卤基。