一种大面积生长石墨烯的装置

摘要

本发明涉及石墨烯生长设备技术领域，尤其涉及一种大面积生长石墨烯的装置。包括石英管、通气腔体、金属基底，所述通气腔体内部中空，所述通气腔体为螺旋式柱状结构，所述金属基底的形状与所述通气腔体的形状相匹配，所述金属基底沿着所述通气腔体内表面螺旋卷曲，所述通气腔体最内圈的端部与所述金属基底最内圈的端部固定连接在一起，所述通气腔体的最内圈的一侧和最外圈的同一侧上均设有进气口，所述通气腔体的内表面上设有多个出气孔，所述石英管套设在所述通气腔体外，包覆住整个所述通气腔体。本发明的有益效果是：结构简单，有利于大面积卷式生长石墨烯，节省空间，同时石墨烯生长均匀、提高产量。

主权项

一种大面积生长石墨烯的装置，其特征在于，包括石英管(5)、通气腔体(1)、金属基底(4)，所述通气腔体(1)内部中空，所述通气腔体(1)为螺旋式柱状结构，所述金属基底(4)的形状与所述通气腔体(1)的形状相匹配，所述金属基底(4)沿着所述通气腔体(1)内表面螺旋卷曲，所述通气腔体(1)最内圈的端部与所述金属基底(4)最内圈的端部固定连接在一起，所述通气腔体(1)的最内圈的一侧和最外圈的同一侧上均设有进气口(3)，所述通气腔体(1)的内表面上设有多个出气孔(2)，所述石英管(5)套设在所述通气腔体(1)外，包覆住整个所述通气腔体(1)。