发明名称 光接收器件以及光接收模块
摘要 本发明提供一种光接收元件、光接收器件以及光接收模块,该光接收元件包括:波导,包括波导核心;多模干涉波导,其具有的宽度大于波导的宽度,多模干涉波导被配置为在第一端处从波导核心接收第一光;以及光电探测部,包括第一半导体层以及置于第一半导体层上的吸收层,第一半导体层至少包括一层且在第二端处从多模干涉波导接收第二光,所述吸收层被置于所述第一半导体层的上方且吸收第二光。从多模干涉波导的第一端到光电探测部的第二端的距离比第一长度的70%长且比第一长度的100%短,第一长度是自成像在多模干涉波导发生之处的长度。
申请公布号 CN102694055B 申请公布日期 2015.04.01
申请号 CN201210065376.1 申请日期 2012.03.09
申请人 富士通株式会社 发明人 高林和雅
分类号 H01L31/12(2006.01)I;G02B6/42(2006.01)I 主分类号 H01L31/12(2006.01)I
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人 刘晓飞;张龙哺
主权项 一种光接收器件,包括:第一波导部,被置于衬底的第一区域,多个入射的光束被配置为在所述第一波导部中传播;第二波导部,被置于所述衬底的第二区域,所述第二波导部被配置为接收所述多个入射的光束,并且基于所述多个入射的光束产生多个出射光束;第三波导部,被置于所述衬底的第三区域且包括多个波导,所述多个出射光束被配置为分别沿所述多个波导传播;以及光电探测部,被置于所述衬底的第四区域且包括多个光电探测元件,所述多个光电探测元件被配置为分别从所述多个波导接收所述多个出射光束,其中所述多个波导中的每一个均包括:波导,包括波导核心,所述波导核心被配置为接收所述多个出射光束的相应一个,以及多模干涉波导,具有的宽度大于所述波导的宽度,所述多模干涉波导被配置为在第一端处从所述波导核心接收相应的出射光束;其中所述多个光电探测元件中的每一个均包括:第一半导体层,包括至少一个层,所述第一半导体层被配置为在第二端处从所述多模干涉波导的相应一个接收所述多个出射光束的相应一个,以及吸收层,被置于所述第一半导体层上,所述吸收层被配置为吸收相应的出射光束,其中,从所述多模干涉波导的所述第一端到所述光电探测部的所述第二端的距离比第一长度的(N‑0.3)×100%长且比所述第一长度的N×100%短,所述第一长度是自成像在所述多模干涉波导中发生之处的最短长度,N为自然数。
地址 日本神奈川县川崎市