用于显微镜检查的传感器

摘要

本发明涉及一种利用包括传感器的数字扫描器对样本进行显微成像的方法，所述传感器包括像素的2D阵列，本发明还涉及一种执行这种方法的数字扫描显微镜。尤其提供了一种用于利用包括传感器的扫描器对样本进行显微成像的方法，传感器包括XY坐标系中的像素的2D阵列，Y轴基本垂直于扫描方向，其中，所述扫描器被布置成使得所述传感器能够对样本的斜截面成像，并且其中，所述方法包括如下步骤：激活像素的2D阵列的第一子阵列，所述第一子阵列主要在第一X坐标（X1）处沿Y轴延伸，利用所述第一像素子阵列，通过对所述样本的第一区域成像来生成第一图像。根据本发明的各方面，还提出了一种扫描器，所述扫描器执行这种方法并使用同样的2D阵列传感器实现成像和自动聚焦的目的。

主权项

一种用于利用包括传感器的扫描器对样本进行显微成像的方法，所述传感器包括XY坐标系中的像素的2D阵列，Y轴基本垂直于扫描方向，其中，所述扫描器被布置成使得所述传感器能够对所述样本的斜截面成像，并且其中，所述方法包括如下步骤：·激活像素的所述2D阵列的第一子阵列，所述第一子阵列主要在第一X坐标(X1)处沿所述Y轴延伸，·通过利用像素的所述第一子阵列对所述样本的第一区域成像来生成第一图像，其中，所述方法还包括如下步骤：·利用所述传感器的所述2D阵列的像素的预定子集对所述样本的区域成像，所述子集不同于像素的所述子阵列，·从这幅图像导出聚焦信息，以及·从所述聚焦信息确定所述第一X坐标(X1)。