ESD保护器件及其制造方法

摘要

本发明提供一种即使重复施加静电、特性也不会变差的、具有稳定特性的ESD保护器件及其制造方法。该ESD保护器件包括：相对电极(2)，该相对电极(2)包括相对地形成在陶瓷基材(1)的表面上的一侧相对电极(2a)和另一侧相对电极(2b)；以及放电辅助电极(3)，该放电辅助电极(3)以分别与一侧相对电极和另一侧相对电极相接触、并从一侧相对电极横跨到另一侧相对电极的方式设置，放电辅助电极包含金属粒子、半导体粒子以及玻璃质，并且，金属粒子间、半导体粒子间、以及金属粒子与半导体粒子之间经由玻璃质而结合，并且，金属粒子的平均粒径X为1.0μm以上，放电辅助电极的厚度Y与金属粒子的平均粒径X的关系满足0.5≤Y/X≤3的条件。

主权项

一种ESD保护器件，包括：相对电极，该相对电极包括隔开间隔、并相对地形成于陶瓷基材的表面上的一侧相对电极和另一侧相对电极；以及放电辅助电极，该放电辅助电极以分别与构成所述相对电极的所述一侧相对电极和所述另一侧相对电极相接触、并从所述一侧相对电极横跨到所述另一侧相对电极的方式设置，所述放电辅助电极包含金属粒子、半导体粒子以及玻璃质，所述金属粒子间、所述半导体粒子间、以及所述金属粒子与所述半导体粒子之间经由所述玻璃质而结合，所述金属粒子的平均粒径X为1.0μm以上，所述放电辅助电极的厚度Y与所述金属粒子的平均粒径X的关系满足0.5≤Y/X≤3的条件。