| 摘要 |
本発明の主題は、光学要素の幾何学的又は光学的構造を測定する方法及びシステムである。特に、本発明は第１の面（１０）及び第２の面（２０）により境界を定められ要素の幾何学的構造を測定する方法に関し、前記方法は、以下のステップすなわち、（Ｓ１）少なくとも前記第１の面（１０）による第１のプローブ信号（ＰＳ１）の第１の変換から生じた第１の信号（ＭＳ１）を測定するステップと、（Ｓ２）少なくとも前記第２の面（２０）による第２のプローブ信号（ＰＳ２）の第２の変換から生じた第２の信号（ＭＳ２）を測定するステップと、（Ｓ３）第１の信号（ＭＳ１）の測定に関連付けられた第１の座標の組（Ｒ１）を第２の信号（ＭＳ２）の測定に関連付けられた第２の座標の組（Ｒ２）に変換することを可能にする第３の変換を決定するステップと、（Ｓ１０）第１の信号（ＭＳ１）、前記第１のシミュレーション、及び推定値（ＥＳ１）と第１の信号（ＭＳ１）との差異を定量化する第１のコスト関数（Ｖ１）を用いて前記第１の面（１０）を推定するステップと、（Ｓ２０）第２の信号（ＭＳ２）、前記第２のシミュレーション、前記第３の変換、及び推定値（ＥＳ２）と第２の信号（ＭＳ２）との差異を定量化する第２のコスト関数（Ｖ２）を用いて前記第２の面（２０）を推定するステップとを含んでいる。 |
