Ｘ線装置、Ｘ線照射方法、及び構造物の製造方法

摘要

検出精度の低下を抑制できるＸ線装置を提供する。Ｘ線装置は、物体にＸ線を照射して物体を通過するＸ線を検出する。Ｘ線装置は、Ｘ線を射出するＸ線源と、物体を保持するステージと、Ｘ線源から射出され、物体を通過したＸ線の少なくとも一部を検出する検出装置と、Ｘ線源、ステージ、及び検出装置が配置される内部空間を形成するチャンバ部材と、内部空間を、Ｘ線源が配置される第１空間と検出装置が配置される第２空間とに分ける仕切部と、を備える。