发明名称 導電性マイエナイト化合物焼結体、スパッタリング用ターゲット、および導電性マイエナイト化合物焼結体の製造方法
摘要 導電性マイエナイト化合物焼結体の製造方法であって、(1)酸化カルシウムと酸化アルミニウムを、12.6:6.4〜11.7:7.3(CaO:Al2O3に換算したモル比)の割合で含む仮焼粉を準備する工程と、(2)前記工程(1)で準備された仮焼粉を含む成形体を準備する工程と、(3)前記工程(2)で準備された成形体を、還元性雰囲気下、1280℃〜1350℃の範囲の温度に保持する工程と、を有し、これにより、相対密度が90%以上で、最小寸法が5mm以上の導電性マイエナイト化合物焼結体が得られることを特徴とする製造方法。
申请公布号 JPWO2013051576(A1) 申请公布日期 2015.03.30
申请号 JP20130537519 申请日期 2012.10.02
申请人 旭硝子株式会社 发明人 伊藤 和弘;渡邉 俊成;渡邉 暁;宮川 直通
分类号 C04B35/44;C23C14/34 主分类号 C04B35/44
代理机构 代理人
主权项
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