| 摘要 |
【課題】光学式プローブとステージとの相対位置及び姿勢誤差を高精度に検出して、ワークの形状を高精度に測定することを可能にする形状測定装置を提供する。【解決手段】本発明の形状測定装置は、ワークＷが載置される載置面１１を有するステージ１０と、光軸Ｌに直交する直交面２１を有し、載置面１１に載置されたワークＷの形状を測定する光学式プローブ２０と、載置面１１に対向する基準面５１を有する基準部材５０と、基準面５１に対する載置面１１の傾き及び基準面５１から載置面１１までの距離を検出する第１の検出部５２，５３，５４と、基準面５１に対する直交面２１の傾き及び基準面５１から直交面２１までの距離を検出する第２の検出部５５，５６，５７と、を有する。【選択図】図１ |
