| 摘要 |
微小な表面応力の変化を検出することができ、小型化・アレイ化を可能にする物理・化学センサ、物理・化学現象センシングデバイスおよびこれら製造方法を提供する。センサは、フォトダイオード１の受光面１ａの表面に中空部３を形成しつつ、対向して設けられた膜部２を備え、中空部は周囲から気密的または水密的に遮断され、膜部は、光透過性および可撓性を有し、前記受光面の表面とともにファブリペロー共振器を形成する。センシングデバイスは、センサのほかに中空部を有しない参照センサを設ける。製造方法は、フォトダイオードの受光面に犠牲層を生成する工程と、犠牲層の表面を除く領域に保護膜を積層する工程と、エッチング予定領域を除く膜部構成領域に膜部を生成する工程と、犠牲層をエッチングする工程と、エッチング予定領域を被覆する工程とを含む。 |
