プローブカード及びノイズ測定装置

摘要

数ＭＨｚ以上の高周波数帯域においてノイズを測定することができるプローブカード及びノイズ測定装置を提供する。ＭＯＳ型電界効果トランジスタ（１４）に当接するプローブ（８）を有し、前記ＭＯＳ型電界効果トランジスタ（１４）のノイズを測定するプローブカード（６Ａ）において、前記ＭＯＳ型電界効果トランジスタ（１４）の出力信号を増幅する増幅回路（５６Ａ）を一体に設けた。