封止用樹脂シートの製造方法

摘要

表面に気泡跡が発生しにくい封止用樹脂シートの製造方法を提供する。溶剤を含まない液状の樹脂２１を型２０に入れ、熱処理で半硬化状態にして溶剤を含まない樹脂体２２を形成する。形成した樹脂体２２を第１加圧板２３の一面に供給して硬化温度より低い温度で加熱し、第１加圧板２３と第２加圧板２５とで挟持して加圧し、第１加圧板２３及び第２加圧板２５の平面方向に引き伸ばし、溶剤を含まない封止用樹脂シート１を形成する。