試料保持具

摘要

基体内部の流路に流体を流したときの基体の亀裂の発生を抑制することができる試料保持具が提供される。本発明の一実施形態にかかる試料保持具である静電チャック（１）は、複数のセラミック層が積層されてなり、長手方向に垂直な断面形状が矩形である流路（１１）が内部に設けられた基体（１０）と、前記流路（１１）の長手方向に垂直な断面形状における隅部（１０ａ）の内表面を被覆する被覆膜（３０）とを有する。