| 摘要 |
1. Система для магнитного экранирования аппарата литографии пучками заряженных частиц, содержащая:- первую камеру, имеющую стенки, содержащие магнитный экранирующий материал, заключающую в себе, по меньшей мере частично, аппарат литографии пучками заряженных частиц;- вторую камеру, имеющую стенки, содержащие магнитный экранирующий материал, заключающую в себе первую камеру; и- набор из двух катушек, расположенных во второй камере на противоположных сторонах от первой камеры, причем эти две катушки имеют общую ось,дополнительно содержащая по меньшей мере один датчик магнитного поля для измерения магнитного поля в пределах второй камеры.2. Система по п. 1, при этом первая камера снабжена отверстием для обеспечения возможности выходящему из аппарата литографии излучению воздействовать на обрабатываемую подложку, предусмотренную на подложкодержателе во второй камере, и при этом упомянутый по меньшей мере один датчик магнитного поля размещен между первой камерой и подложкодержателем.3. Система по п. 1 или 2, при этом датчик магнитного поля размещен в непосредственной близости от отверстия в первой камере.4. Система по п. 1 или 2, при этом вторая камера заключает в себе:- первый набор из двух катушек, расположенных на противоположных сторонах от первой камеры, причем две катушки первого набора имеют общую ось в первом направлении;- второй набор катушек, расположенных на противоположных сторонах от первой камеры, причем две катушки второго набора имеют общую ось во втором направлении, практически перпендикулярном первому направлению;- третий набор катушек, расположенных на противоположных сторонах от первой камеры, � |
