| 摘要 |
<p>ケースを介さずに圧電素子の電極に配線部材を接続しながら、圧電素子とケースとの高い接合精度を実現でき、また、良好な振動特性や感度特性を得ることができる構成の超音波センサを実現する。超音波センサ（１）は、振動領域である底面部を有する凹部（２Ｂ１）を有し、有底筒状のケース（２）と、第１の面と第１の面と対向する第２の面とを有する圧電基板（３Ｅ）と、第１の面に設けられている第１の電極（３Ａ）と、第２の面の一部に設けられている第２の電極（３Ｂ）と、第２の面の一部に第２の電極（３Ｂ）と離れて設けられており、第１の電極（３Ａ）と接続されている第３の電極（３Ｃ）とを有し、第１の電極（３Ａ）が凹部（２Ｂ１）の底面に接合され、底面を平面視して自らの中心が振動領域の中心と異なる位置に配置されている圧電素子（３）と、を備える。</p> |
