摘要 |
<p>Eine Vorrichtung (10) zum Bestimmen einer optischen Eigenschaft eines optischen Abbildungssystems (12) umfasst ein Beleuchtungssystem (20), welches dazu konfiguriert ist, von einer Strahlungsquelle (16) erzeugte elektromagnetische Strahlung (18) auf eine Objektebene (22) des Abbildungssystems zu richten, einen Nutzdetektor (42) zur Bestimmung der optischen Eigenschaft, welcher zum Erfassen der elektromagnetischen Strahlung nach Durchlaufen eines Nutzstrahlenganges (45) konfiguriert ist, wobei sich der Nutzstrahlengang, von der Strahlungsquelle ausgehend über das Abbild ungssystem bis zum Nutzdetektor erstreckt, eine Auskopplungseinrichtung (46), welche im Nutzstrahlengang angeordnet ist und dazu konfiguriert ist, eine Sensorstrahlung (48) aus dem Nutzstrahlengang auszukoppeln, sodass die ausgekoppelte Sensorstrahlung in einem sich vom Nutzstrahlengang unterscheidenden Sensorstrahlengang (49) verläuft, sowie einen Intensitätssensor (50), welcher im Sensorstrahlengang dazu angeordnet ist, eine an zumindest einem Punkt in der Objektebene (22) des optischen Abbildungssystems vorliegende winkelaufgelöste Intensitätsverteilung aufzuzeichnen, welche die Intensität der elektro¬ magnetischen Strahlung in Abhängigkeit des Einstrahlwinkels bezüglich der Objektebene wiedergibt.</p> |