| 摘要 |
<p>本発明は、以下の特徴を有する第１基板（２）と第２基板（２’）とを接合する装置に関する。すなわち、この装置は、支持基板（１）を収容するための収容部と、この収容部とは反対側を向いた、上記の支持基板（１）の基板面（１ｓ）上に複数の第１基板（２）を配置する配置装置と、各第１基板（２）の少なくとも１つの固定部分（２ａ）において、上記の基板面（１ｓ）に各第１基板（２）を固定するための固定装置とを有している。さらに本発明は、以下のステップを有する、第１基板（２）と第２基板（２’）とを接合する方法に関する。すなわち、この方法は、収容部に収容した支持基板（１）の基板面（１ｓ）に複数の第１基板（２）を配置するステップと、各第１基板（２）の少なくとも１つの固定部分（２ａ）において、この各第１基板（２）を上記の基板面（１ｓ）に固定するステップとを有する。</p> |
