| 摘要 |
<p>Strukturparameter einer Probe werden bestimmt, indem Modelle der Antwort der Probe auf die Messungen, die von unterschiedlichen Messverfahren in einer kombinierten Untersuchung aufgenommen wurden, angepasst werden. Modelle der Antwort der Probe von mindestens zwei unterschiedlichen Messtechnologien teilen mindestens einen gemeinsamen geometrischen Parameter. In einigen Ausführungsformen führt eine modellbildende und analysierende Maschine, röntgen und optische Analysen durch, wobei mindestens ein gemeinsamer Parameters während der Analyse gekoppelt ist. Der Fit der Antwortmodelle an die Messdaten kann, sequentiell, parallel, oder mittels einer Kombination von sequentieller und paralleler Analysen durchgeführt werden. Gemäß einem weiteren Aspekt wird die Struktur der Antwortmodelle basierend auf der Güte der Anpassung zwischen den Modellen und der entsprechenden Messdaten verändert. Beispielsweise wird ein geometrisches Modell der Probe basierend auf dem Fit zwischen den Antwortmodellen und der entsprechenden Messdaten restrukturiert.</p> |
