| 摘要 |
<p>実用に耐えうることは勿論、耐摩耗性能がより高められた撥油膜を効率よく成膜することができる成膜方法を提供する。複数の基板１４を保持するための基体保持面を持つ基板ホルダ１２が真空容器１０内に回転可能に配設された成膜装置１において、前記基体保持面の一部の領域のみに向けてイオンビームが照射可能となるような構成、配置及び／又は向きで真空容器１０内に設置されたイオン源３８と、前記基体保持面の全領域に向けて撥油膜の成膜材料が供給可能となるような配置及び向きで真空容器１０内に設置された蒸発源３４とを有し、蒸発源３４の作動開始前にイオン源３８の作動を停止させるように構成したものである。</p> |
