发明名称 フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法
摘要 <p>本発明は、軽量化に適した組成のガラスを用いて、画素のピッチズレを抑制可能な程度の熱収縮率を有するLTPS・TFT用に好適なガラス基板を、生産性を損なうことなく製造できる方法を提供する。開示される本発明は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法である。この方法は、(1)製造されるガラス基板が、SrO及びBaOの合量が8質量%未満であり、かつ675℃以上の歪点を有するように原料を調合して熔解する熔解工程と、(2)熔解した熔解ガラスからオーバーフローダウンドロー法によりガラスリボンを成形する成形工程と、(3)成形されたガラスリボンを下記の条件(A)で冷却する冷却工程と、を有する。(A)徐冷点から(歪点−50℃)の温度までの平均冷却速度:0.5〜5.5℃/秒未満</p>
申请公布号 JPWO2013047585(A1) 申请公布日期 2015.03.26
申请号 JP20130509353 申请日期 2012.09.26
申请人 发明人
分类号 C03B25/12;C03C3/091;G02F1/1333;H01L51/50;H05B33/02 主分类号 C03B25/12
代理机构 代理人
主权项
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