摘要 |
<p>本発明は、軽量化に適した組成のガラスを用いて、画素のピッチズレを抑制可能な程度の熱収縮率を有するLTPS・TFT用に好適なガラス基板を、生産性を損なうことなく製造できる方法を提供する。開示される本発明は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造方法である。この方法は、(1)製造されるガラス基板が、SrO及びBaOの合量が8質量%未満であり、かつ675℃以上の歪点を有するように原料を調合して熔解する熔解工程と、(2)熔解した熔解ガラスからオーバーフローダウンドロー法によりガラスリボンを成形する成形工程と、(3)成形されたガラスリボンを下記の条件(A)で冷却する冷却工程と、を有する。(A)徐冷点から(歪点−50℃)の温度までの平均冷却速度:0.5〜5.5℃/秒未満</p> |