一种常压化学气相沉积镀膜反应器

摘要

本发明公开了一种常压化学气相沉积镀膜反应器。该镀膜反应器特点为：反应器内部设计有强化对流和束流结构的混气室；反应器底部结构采用具有良好热导率的耐高温钢板；混气室出口采用狭缝结构，作为反应器镀膜气体喷嘴；反应器喷嘴处安装具有倒角结构的石墨挡块；反应器进气腔与排气腔采用完全对称结构；反应器镀膜进气与排气方向可以互换。该常压化学气相沉积镀膜反应器通过强化前驱体气体对流传热，提高反应热效率，能够使镀膜沉积反应在相对较低的温度下进行，降低镀膜能耗，拓宽镀膜温度窗口。本发明的设计思路新颖，设备维护简单，投资小，成本低，适合工业化或实验室设备应用。

主权项

一种常压化学气相沉积镀膜反应器，包括内部设有混气室的反应器主体，其特征在于，所述的混气室平铺在沉积基底或玻璃带上方，混气室底部设有导热板，所述导热板上设有作为反应器镀膜喷嘴的狭缝；与混气室连通的进气管和狭缝分别位于混气室的两对侧，所述的混气室为沿气流方向逐渐扩宽的广口状，混气室内还装有混流挡板，所述的混流挡板间具有迂回的气流通道。