一种射频脉冲系统的阻抗匹配方法及射频脉冲系统

摘要

本发明提供一种射频脉冲系统的阻抗匹配方法，该方法包括：S1、根据预先获取的阻抗匹配时所述反应腔的阻抗变化规律和当前脉冲期间阻抗匹配时所述反应腔的阻抗值，获得在下一个脉冲期间且阻抗匹配时，所述反应腔的阻抗的预测范围；S2、根据所述下一个脉冲期间所述反应腔的阻抗的预测范围，调节所述脉冲扫频电源的频率和/或所述阻抗可调元件的阻抗值，使得在下一个脉冲期间所述脉冲扫频电源和所述匹配网络的阻抗与所述反应腔的阻抗匹配。相应地，本发明还提供一种射频脉冲系统。本发明能够实现射频脉冲系统中脉冲扫频电源和匹配网络的阻抗与反应腔的阻抗的快速匹配，同时能够延长匹配网络中真空电容的使用寿命。

主权项

一种射频脉冲系统的阻抗匹配方法，所述射频脉冲系统包括脉冲扫频电源、反应腔和匹配网络，所述匹配网络电连接在所述脉冲扫频电源与所述反应腔之间，所述脉冲扫频电源的频率能够在预设频率范围内调节，所述匹配网络包括阻抗可调元件，其特征在于，所述阻抗匹配方法包括：S1、根据预先获取的阻抗匹配时所述反应腔的阻抗变化规律和当前脉冲期间阻抗匹配时所述反应腔的阻抗值，获得在下一个脉冲期间且阻抗匹配时，所述反应腔的阻抗的预测范围；S2、根据所述下一个脉冲期间所述反应腔的阻抗的预测范围，调节所述脉冲扫频电源的频率和/或所述阻抗可调元件的阻抗值，使得在下一个脉冲期间所述脉冲扫频电源和所述匹配网络的阻抗与所述反应腔的阻抗匹配。