一种适用于蓝宝石A面的化学机械抛光组合物

摘要

本发明公开了一种适用于蓝宝石A面的化学机械抛光组合物。本发明组合物由研磨颗粒、络合剂、表面活性剂、抑菌剂、无机碱和水组成；研磨颗粒的含量为重量百分比5～50％；络合剂的含量为重量百分比0.01～10％；表面活性剂的含量为重量百分比0.01～5％；抑菌剂的含量为重量百分比0.001～1％；无机碱的含量为重量百分比0.1～10％；用水补足含量至重量百分比100％。经本发明所述抛光组合物抛光后的A面蓝宝石晶片的去除速率与表面粗糙度效果较好，去除速率从现有的0.4um/h左右提高到1um/h以上，可显著提高生产效率。

主权项

一种适用于蓝宝石A面的化学机械抛光组合物，其特征在于，其由研磨颗粒、络合剂、表面活性剂、抑菌剂、无机碱和水组成；所述的研磨颗粒为二氧化硅、三氧化二铝或覆盖铝的二氧化硅高分子研磨颗粒中的一种或多种；研磨颗粒的含量为重量百分比5～50％；所述的络合剂为乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸钠盐、乙二胺四乙酸钾盐、羟乙基乙二胺、氨基三乙酸钠盐、氨基三乙酸钾盐中的一种或多种；络合剂的含量为重量百分比0.01～10％；所述的表面活性剂为月桂醇聚氧乙烯醚、仲醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚、辛基酚聚氧乙烯醚、十二烷基酚聚氧乙烯醚中的一种或多种；表面活性剂的含量为重量百分比0.01～5％；所述的抑菌剂为对羟基苯甲酸甲酯、羟乙基六氢均三嗪、三氯叔丁醇中的一种或几种；抑菌剂的含量为重量百分比0.001～1％所述的无机碱为氢氧化钠、氢氧化钾中的一种或两种；无机碱的含量为重量百分比0.1～10％；用水补足含量至重量百分比100％。