发明名称 |
具有交换偏置效应的钒铁氧体-铁酸铋多铁复合薄膜及制备方法 |
摘要 |
本发明所涉及的具有交换偏置效应的钒铁氧体-铁酸铋多铁复合薄膜及制备方法。利用磁控溅射技术在SrTiO<sub>3</sub>单晶基片上外延生长BiFeO<sub>3</sub>薄膜;采用反应溅射方法,利用金属Fe靶和V靶共溅射制备钒铁氧体Fe<sub>3-x</sub>V<sub>x</sub>O<sub>4</sub>(0.1≤x≤0.6)薄膜并实现与BiFeO<sub>3</sub>薄膜的外延生长。利用钒铁氧体和铁酸铋构成多铁复合薄膜;首次发现BiFeO<sub>3</sub>-Fe<sub>3-x</sub>V<sub>x</sub>O<sub>4</sub>复合薄膜具有交换偏置效应。该BiFeO<sub>3</sub>-Fe<sub>3-x</sub>V<sub>x</sub>O<sub>4</sub>外延复合结构,扩充了多铁复合结构的研究范围;提供了能够一种简单、廉价并可工业化推广的外延异质结构的制备技术。该发明方法具有靶材选择简单、在多铁性性存储设备等方面具有很好的应用价值的优点。 |
申请公布号 |
CN104451543A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201410619184.X |
申请日期 |
2014.11.05 |
申请人 |
天津大学 |
发明人 |
金朝;王丽艳;郑东兴;白海力 |
分类号 |
C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01F10/18(2006.01)I;H01F10/32(2006.01)I;H01F41/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/08(2006.01)I |
代理机构 |
天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 |
代理人 |
王丽 |
主权项 |
一种具有交换偏置效应的钒铁氧体‑铁酸铋多铁复合薄膜,其特征是薄膜结构式为:BiFeO<sub>3</sub>‑Fe<sub>3‑x</sub>V<sub>x</sub>O<sub>4</sub>,其中0.1≤x≤0.6。 |
地址 |
300072 天津市南开区卫津路92号天津大学 |