发明名称 薄膜晶体管及制备方法、阵列基板及制备方法、显示装置
摘要 本发明的实施例提供一种薄膜晶体管及制备方法、阵列基板及制备方法、显示装置,涉及显示技术领域,可增强薄膜晶体管的栅控能力,使其性能保持长期稳定,并进一步提高其使用寿命。该薄膜晶体管包括第一栅极、位于第一栅极上方的栅绝缘层、位于栅绝缘层上方的半导体有源层、与半导体有源层相接触的源极和漏极;还包括层间绝缘层和第二栅极;其中,所述层间绝缘层设置在第二栅极和半导体有源层之间。用于显示器件的制造。
申请公布号 CN104465788A 申请公布日期 2015.03.25
申请号 CN201510001865.4 申请日期 2015.01.04
申请人 京东方科技集团股份有限公司 发明人 刘翔
分类号 H01L29/786(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种薄膜晶体管,包括第一栅极、位于所述第一栅极上方的栅绝缘层、位于所述栅绝缘层上方的半导体有源层、与所述半导体有源层相接触的源极和漏极;其特征在于,还包括层间绝缘层和第二栅极;其中,所述层间绝缘层设置在所述第二栅极和所述半导体有源层之间。
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