发明名称 |
薄膜晶体管及制备方法、阵列基板及制备方法、显示装置 |
摘要 |
本发明的实施例提供一种薄膜晶体管及制备方法、阵列基板及制备方法、显示装置,涉及显示技术领域,可增强薄膜晶体管的栅控能力,使其性能保持长期稳定,并进一步提高其使用寿命。该薄膜晶体管包括第一栅极、位于第一栅极上方的栅绝缘层、位于栅绝缘层上方的半导体有源层、与半导体有源层相接触的源极和漏极;还包括层间绝缘层和第二栅极;其中,所述层间绝缘层设置在第二栅极和半导体有源层之间。用于显示器件的制造。 |
申请公布号 |
CN104465788A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201510001865.4 |
申请日期 |
2015.01.04 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
刘翔 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种薄膜晶体管,包括第一栅极、位于所述第一栅极上方的栅绝缘层、位于所述栅绝缘层上方的半导体有源层、与所述半导体有源层相接触的源极和漏极;其特征在于,还包括层间绝缘层和第二栅极;其中,所述层间绝缘层设置在所述第二栅极和所述半导体有源层之间。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |