一种人造蓝宝石晶片缺陷检测装置

摘要

本发明公开了一种人造蓝宝石晶片缺陷检测装置，包括LED平行光管、半反射镜、环形光源柱形架、45°LED环形光源、10°LED环形光源、高清摄像机、计算机，环形光源柱形架侧壁的相对位置分别安装有一对45°LED环形光源和10°LED环形光源，环形光源柱形架的底部用于安放待测试的蓝宝石晶片，半反射镜放置在蓝宝石晶片的正上方，LED平行光管发出的平行光通过半反射镜反射后垂直照射在所述蓝宝石晶片上，45°LED环形光源、10°LED环形光源和LED平行光管所发出的光经蓝宝石晶片散射后发出的散射光由高清摄像机接收，高清摄像机将接收到的散射光的数字图像发送至计算机进行图像处理。本发明具有检测速度快、检测精度高、检测成本低等优点。

主权项

一种人造蓝宝石晶片缺陷检测装置，其特征在于，包括LED平行光管、半反射镜、吸光板、环形光源柱形架、45°LED环形光源、10°LED环形光源、高清摄像机、计算机，环形光源柱形架侧壁的相对位置分别安装有一对45°LED环形光源和10°LED环形光源，所述环形光源柱形架的底部用于安放待测试的蓝宝石晶片，半反射镜放置在所述蓝宝石晶片的正上方，所述半反射镜的后方放置有吸光板，LED平行光管发出的平行光通过所述半反射镜反射后垂直照射在所述蓝宝石晶片上，所述45°LED环形光源、10°LED环形光源和LED平行光管所发出的光经蓝宝石晶片散射后发出的散射光由高清摄像机接收，所述高清摄像机将接收到的散射光的数字图像发送至计算机进行图像处理。