发明名称 |
半导体装置 |
摘要 |
本发明公开一种半导体装置。半导体装置包括一主动鳍片区(active fin region)、至少一栅极条以及一虚拟鳍片区(dummy fin region)。主动鳍片区包括至少一主动鳍片(active fin)。栅极条形成于主动鳍片区上,并延伸跨过主动鳍片。虚拟鳍片区形成于主动鳍片区的两侧,虚拟鳍片区包括多个虚拟鳍片(dummy fin),虚拟鳍片形成于栅极条的两侧。 |
申请公布号 |
CN104465751A |
申请公布日期 |
2015.03.25 |
申请号 |
CN201310421327.1 |
申请日期 |
2013.09.16 |
申请人 |
联华电子股份有限公司 |
发明人 |
洪世芳;邱崇益 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
陈小雯 |
主权项 |
一种半导体装置,包括:主动鳍片区(active fin region),包括至少一主动鳍片(active fin);至少一栅极条,形成于该主动鳍片区上,并延伸跨过该主动鳍片;以及虚拟鳍片区(dummy fin region),形成于该主动鳍片区的两侧,该虚拟鳍片区包括多个虚拟鳍片(dummy fin),该些虚拟鳍片形成于该栅极条的两侧。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |